 |
Руководитель отделения к.ф.-м.н.Берт Николай Алексеевич |
Электронная микроскопия - совокупность методов исследования твердых тел с высоким (вплоть до атомного) пространственным разрешением, основанных на получении различных сигналов, возникающих в результате взаимодействия ускоренных электронов с исследуемым объектом.
Метод основан на дифракции и интерференции электронной волны, эмитируемой электронной пушкой и формируемой электронно-оптической системой, на кристаллической решетке прозрачного для электронов (толщина 10 : 100 нм) исследуемого объекта.
Исследование топографии поверхности и ее локальных электро-физических свойств проводится с помощью зондов, у которых радиус закругления острия имеет размер порядка десяти нанометров. В основе работы зондовых микроскопов лежат: явление протекания туннельного тока между металлическим зондом и проводящим образцом, а также различные типы силового взаимодействия между кантилевером (зондом) и поверхностью образцов.
Полупроводники, аморфные тела, стекла, широкий спектр твердых тел, порошки, керамики, биологические объекты