 |
Руководитель отделения д.ф.-м.н., проф., чл.-кор. РАН |
Отделение занимается исследованием химического и элементного состава, а также качества кристаллической структуры твердотельных материалов, их поверхностей и фазовых границ (интерфейсов) в гетерогенных материалах с помощью методов, основанных на анализе спектров вторичных и отраженных первичных частиц, возникающих при облучении исследуемых образцов потоком ионов, атомов или электронов. Информация может быть получена как с поверхностных атомных монослоев с высоким разрешением, так и с глубин вплоть до нескольких микрон (неразрушающим методом и с использованием так называемого глубинного профилирования).
Основные приложения Д-ВИМС: локальный элементный и изотопный анализ; анализ глубинных профилей распределения основных и примесных элементов в образцах, неоднородных по толщине, например, в гетероструктурах; изучение строения гетерограниц; явлений сегрегации и диффузии; исследование двумерных и трехмерных распределений атомов в сложных гетероструктурах (конструкционные материалы, структуры опто- и микроэлектронных приборов)